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台式激光直写光刻机
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仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 其他
型号：Microwriter ML Baby
厂商：Durham Magneto Optics Ltd
所在地区：河南省郑州市二七区
服务次数：0
普通预约
创新券预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
1. 无需物理掩膜板
2. 分辨率：1.0um
3. 直写速度（mm2/min）：3@1um res
4. 边缘粗糙度：优于200nm
5. 常规对准精度：2um，可视化对准精度：200nm
主要功能
制作图形电极
制备半导体器件
服务内容
图形光刻
用户须知
1. 预约使用
2. 注意设备操作规程
参考收费标准
1000元/小时
联系方式
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郑州大学
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服务次数：38
历史访问：754
服务态度：
5
分
服务质量：
5
分
服务效率：
5
分
综合评价：
5
分
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