样品视景：可选放大倍率，1to4mmFOV
探针传感器：低惯量传感器（LIS3）
探针压力：使用LIS3传感器：1至15mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50nm至25μm；高径比（HAR）针尖：10μm×2μm和200μm×20μm；可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台：手动X-Y平移：100mm(4英寸）；机动X-Y平移：150mm（6英寸）
样品旋转台：手动，360°旋转；机动，360°旋转

测量技术：探针轮廓仪DEKTAK XT
测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量

测量技术：探针轮廓仪DEKTAK XT
测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量

详见实验室规定

300元/小时