●光学测量精度（环境条件20℃±0.5℃，配置10X光学镜头）：
E1：要求：（0.25+L/900）um、结果：0.17um
E2：要求：（0.70+L/600）um、结果：0.63um
E1：要求：（1.5+L/500）um、结果：1.73um
●（扫描式探针传感器）最大允许误差（20℃±0.5℃）：
技术要求MPEE：（1.5+L/500）um，结果1.59um
技术要求MPEP：（1.5+L/500）um，结果0.88um

德国Werth公司生产的超高精度复合式影像测量仪，集接触、激光、白光和影像探测技术于一体，可自由选择接触与光学瞄准，完成复杂工件上几何参数的测量。

●测量平台
测量范围400×400×300mm；分辨率0.01um；最大承载重量250Kg；定位速度100mm/s；加速度250mm/s²；
●光学固定镜头
镜头光学倍率：10X、3X；影像的诘取：进口1/2英寸高分辨率CCD；

电话联系

面议