服务信息
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真空系统：极限真空 <5×10⁻⁴ Pa，配备多路（如5路）MFC气体控制
沉积腔：φ200 mm左右圆柱形，TM₀₁₀或类似模式，样品台直径 Φ50 mm，水冷+电动升降+可选偏压
电源与冷却：380 VAC / 50 Hz，三相四线，总功率约8 kW，冷却水流量 ≥40 L/min（20±5℃） -
生长金刚石单晶和多晶
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生长金刚石单晶和多晶
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提前与设备管理员联系测试要求。
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1000元/小时
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