离子源：
减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节
离子束能量 100eV 到6.0 KeV
光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM
离子电流密度 最大 10mA/cm2
样品台
样品尺寸 3mm或2.3mm
旋转速率 1rpm - 6rpm
离子束调制 针对特殊横截面可选择单面或双面减薄
观测器 双目显微镜 40X
真空
压力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本压力
8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作压力
真空计 样品室冷阴极标尺，搭配固态压力传感器
尺寸及功率
能量消耗 运行时需200W，离子枪关闭时需100W
气体 氩气 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）

用于透射电镜块材以及玻璃基底（或者硅基底）无机薄膜样品制样

制备用于透射电镜观察样品（仅限于块材和薄膜样品）

需提前一周预约

院内100元/样品，校内200元/样品，校外400元/样品