服务信息
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三把离子枪，离子束能量1~10keV，可选择任意离子枪；可进行离子束切割或刻蚀，切割速率150μm/h（Si/10kV，50μm切割高度），可获得的有效切割截面面积4×1mm；离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好；样品处理过程可通过体视镜实时监控；真空泵解耦合设计，无震动传导；触摸屏操作面板，直观、简易操作
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Leica EM TIC 3X三离子束切割仪几乎适用于任何材质的样品，特别适合于软/硬复合、带有孔缝结构、脆性及非均质样品等高难度样品，获得样品截面，从而进行扫描电子显微镜，微区分析（EDS，AES俄歇电子能谱分析，EBSD）以及原子力显微镜或扫描探针显微镜检测。
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最大样品尺寸： 50 x 50 x 10 mm (标准样品架)
最大样品尺寸： 10 x 10 x 5 mm (调节样品托，选配)
最大样品尺寸： 10 x 10 x 5 mm (衬度增强支架，选配)
样品侧向移动行程： 10 mm
样品垂直移动行程： 2 mm
样品与挡板之间的距离： 6 mm -
校内外均可通过预约管理系统进行预约测试
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300元/个，特殊样品面议
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