1、高精度、超低噪声 2、闭环扫描器 3、X&Y范围90μm 4、X&Y传感器150 pm噪声、Z范围＞15μm (40μm选项) 5、Z传感器＜35 pm噪声 6、噪声低、高带宽光学 7、悬臂挠度传感采用一种反向结构(入射光束偏离垂直方向)，以显著减少来自样品反射光的干扰 8、光源低相干红外(860 nm)超发光二极管，FDA/IEC类1M(非危险) 9、直流探测器噪声＜10pm 、探测器带宽7 MHz 10、高分辨率系统性能、直流高度噪声＜20pm、交流高度噪声＜20pm 11、俯视图光学分辨率优于5 μm 12、相机颜色，500万像素数码变焦照明

它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。

表征样品的3D形貌结构、表面电势、表面粗糙度等

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300元/样品