1 运行环境
环境温度： 20±5℃；相对湿度： ＜65%RH； 适用电源： 220V/380V±10%；50Hz±2%；单相/三相；连续工作时间： 连续操作
2 分辨率： 高真空：3.0nm （30kV）； 8.0nm（3kV）；15.0nm （1kV）
3 放大倍数： 5～300000倍
放大倍数的预设： 5挡（用户可选择）
4 真空度： 高真空≤0.1mPa
5 探测束流： 1pA～1µA
加速电压： 0.5～30kV，连续可调; 聚光镜:可变焦距聚焦镜
灯丝：预对中钨灯丝，灯丝具有自动加热、自动准值功能 物镜： 超级圆锥形物镜
自动功能:自动聚焦、自动亮度、自动对比度、自动像散校正 图像电平移：±50μm （WD=10mm）
6 样品室和样品台
标准样品台尺寸： 可装直径150mm的样品 ; X、Y马达驱动样品台;行程：X=8

形貌显微观察；微区成分分析

样品形貌及组成元素分析

试样形貌观察200元/件，能谱分析 200元/件，喷金60元/批

试样形貌观察200元/件，能谱分析 200元/件，喷金60元/批