服务信息
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射频源：50瓦射频电源，具有功率自动匹配功能
真空系统：70升/秒分子泵搭配两级隔膜泵
气压：基本压力5E - 6Torr，工作压力400mTorr
真空规：紧凑的皮拉尼规
舱室：尺寸为3.5”直径×2.0”深度，两个前置接口可装载TEM适配器，顶部入口用于放入SEM样品台等
观察窗：前置观察窗可观察等离子体发光
电磁阀：内置电磁阀隔离舱室与真空泵，抽真空不到1分钟，放气小于5秒
气体控制：用精确质量流量计测量及控制流量
气体种类：三路独立气体，H₂、O₂和Ar
清洗配方：有H₂/O₂配方等，支持用户自定义 -
是一款先进的等离子体清洗系统
利用等离子体去除TEM和SEM样品台或样品表面的碳氢化合物污染，具有清洗速度快、对样品损伤小等特点 -
利用等离子体去除TEM和SEM样品台或样品表面的碳氢化合物污染
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周一至周五（工作日）
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50元/时（小于等于0.5小时，按30元收费；大于0.5小时，按50元收费）
联系方式
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