分辨率：0.6nm(15KV)，1.2nm(0.2KV)，加速电压：350V~30kV；着陆电压：20V~30kV；电子束流：0.8pA~100nA（连 续可调）；电子束减速模式：-50V~ -4kV；集成等离子清洗器，可清洗样品或样品舱；配置牛津能谱仪(型号：Ultim Max 170)分辨率：Mn Kα优于127eV，元素分析范围：Be 4~Cf 98。

定性分析、定量分析、多元素线扫描、面扫描功能、零峰修正功能等。

测试试样表面形貌。如纳米材料、材料断口、试样原始表面、试样厚度等。

1.校内外人员预约使用本校所属大型仪器设备需遵守学校各项管理规定，禁止未经授权擅自更改仪器参数和违规操作仪器，损坏仪器需赔偿。
2.本校师生拥有优先使用权限，校外其他人员根据仪器空闲情况预约使用，根据预约情况仪器管理员合理安排仪器使用时间。
3.校内外人员需提前1天以上时间预约仪器，以便于合理安排时间更好服务。
4.校内外人员可以登录商丘师范学院大型科研仪器设备管理系统网站（https://sbgx.sqnu.edu.cn/）查询共享仪器目录，联系仪器管理人员进行预约。
5.非本校师生测试结束后仅可以现场查看结果，然后到仪器管理员处领取测试费转账单，完成测试费转账后方可取走电子版或纸质版实验数据。
6.拷贝实验数据禁止使用U盘或移动硬盘等移动存储器，需自带光盘刻录数据。
7.获得的实验数据仅供科学研究使用，商丘师范学院不出具任何实验报告或证明材料，不负任何法律及连带责任。

校内：200元/小时
校外：400元/小时