（1）二次电子像分辨率：
1.3nm (20 kV)
1.5nm (15 kV)
2.8nm (1kV)
（2）电子源加速电压：
调整范围：100 V～30 kV
调整步长：每档10 V连续可调
（3）探针电流：4 pA～20 nA
稳定性: 优于 0.2%/h
（4）放大倍率：
范围: 12×～1000,000×
放大倍数调整：粗、细调模式连续可调

∑IGMA是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。具有业界领先的X射线分析条件，五轴全自动控制的样品台；采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，可提供高真空成像功能；标准的高效率无油涡轮分子泵可满足快速的样品更换和无污染成像分析；具有镜筒内（环形In-lens）二次电子探测器、样品室二次电子探测器、背散射电子探测器以及CCD 摄像机，能满足不同样品的检测要求；配有牛津能谱仪，可对样品进行定量分析。

可对金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等形貌进行观察

样品需干燥，无磁性。

喷金：100/个
形貌观潮：300/个