服务信息
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曝光面积：600mm×600mm
掩膜尺寸：650mm×650mm
分辨率：3μm
对准精度：±1.5μm
汞灯功率：2500W
光源均匀性：±15% -
大面积精细胶膜图形结构成型机是微细加工的支撑平台。它采用高强度紫外光源及光学系统实现大面积高均匀照明。通过CCD对准系统及高精度多维工件台实现掩模板与样片的对准曝光，从而实现微结构的光刻加工。
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微结构光刻加工
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按照实验室规定执行，提前一周预约。
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200元/小时
联系方式
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