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磁控溅射仪
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仪器分类：物理性能测试仪器 -> 其他 -> 其他
型号：菲尔姆SCS-350
厂商：湖南菲尔姆真空设备有限公司
所在地区：河南省驻马店市市辖区
服务次数：0
普通预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
1. 水冷式溅射源，通用2英寸设计
2. MFC流量计高精度控制过程气体
3. DC/RF溅射电源可选
4. 全自动触摸屏控制方案
5. 最多2个溅射源
6. 500℃衬底加热
7. 衬底旋转，Z向调节
主要功能
用于溅射金属和/或者陶瓷膜层
服务内容
对固定参数样片制备
用户须知
仪器设有专门仪器管理员，需要提前预约使用。
参考收费标准
校外800元/每样, 校内400元/每样
联系方式
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服务质量：
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服务效率：
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综合评价：
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