（a）等离子体电源
等离子体为高频感应电源，频率范围为6-10 MHz，无电极污染。最大输出功率为10kW，并连续可调
（b）加料系统
加料量1g/min-10g/min 连续可调
（c）等离子体灯具
石英玻璃组成，外径范围为30～50 mm之间，内径范围10～40 mm
（d）形貌控制器
形貌控制器由夹层不锈钢圆筒或石英管组成。内可安置至少3束高速冷凝气体
（e）收集系统
由不锈钢制成，内有致密滤网。收集系统内控制一定的负压，可将产品抽入收集系统，沉积在滤网表面
（f）负压系统
保证系统内具有一定的负压，系统内负压可在1000Pa至一个大气压范围内可调。

纳米、球形粉体制备，废弃物回收利用等。

加工样品

仪器设有专门仪器管理员，需要提前预约使用。

协议收费