1. 设备采用白光干涉原理成像，具备LED双光源（白光和绿光）；
2. 设备具有VSI、PSI、VXI三种测量模式；
3. 垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，可连续测量0.1nm到10mm的Z向起伏样品；
4. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm，RMS测量的重复性：0.01nm；
5. 台阶高度测量准确性：≤0.75%，台阶高度测量重复性：≤0.1%；
6. Z方向最大行程100mm；
7. 样品台移动范围：150mm (XY轴)
8. 扫描速度大于47um/sec；
9. 样品反射率：<0.05%至100%；
10. 具备自动调光强功能；
11. 系统含1x、0.55x目镜，白光干涉物镜2.5x；
12. 样品台倾斜调制范围：± 6°（Tip/Tilt）。

主要可以进行表面形貌测量，可以输出表征表面形貌的各种参数

表面形貌测量（2D或3D）

采用电话预约的方式申请，申请电话为13353731570。工作时间：周一到周五。申请流程：根据预约电话确定时间，并经负责人签字批准。申请材料：由双方协商确定。

120元/样