1、激光光源；2、工作平台可接受最大衬底尺寸为6×6；3、最大直写面积为125 × 125 mm²；4、高精密光学装置；5、高精密的结构摄像系统；6、最小曝光能力可达1微米；7、气压差式自动聚焦装置；8、数据转换功能,设备控制操作计算机；9、直写模式：
直写模式 Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ
最小特征尺度（μm） 0.6 1 2.5 5
光绘速度（mm2/min） 1 5 35 90
地址网格（nm） 20 40 100 200
边缘精度（3σ，nm） 100 120 200 400
线宽均匀性（3σ，nm） 150 200 400 800
对准精度@50x50 mm（3σ，nm） 200 200 400 800

1、气压差式自动聚焦装置；2、数据转换功能,设备控制操作计算机；

掩模板制作

1)收费标准中仅为机时费，我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算，至少收取一小时费用，其后以半小时为单位计价，未满半小时以半小时计价。3）按小时收费

校外：1100元/小时；校内：850元/小时；院内：750元/小时