1、样品台：直径不小于200mm的大样品台，具有自动马达驱动功能，可以对大尺寸样品进行测量；2、每条扫描线可获得更多的数据点（≥16，000），最大采样点16384 × 1600。一次大范围扫描就可获得小范围的细节，而不需要进行多次扫描；3、扫描管要求：3.1、最大扫描范围：90um × 90um × 10um；3.2、XYZ三方向闭环控制；3.3、XY方向闭环噪音水平：<0.15nm；3.4、Z方向闭环噪音水平：<0.035nm；3.5、Z方向开环噪音水平：<0.03nm。4、磁力显微镜模式要求既能测量纵向磁畴分布，又能测量横向磁畴分布。5、进口防震隔音平台，防震频率0.5Hz。6、压电响应模式要求既能获得面外的压电响应图像，又可获得面内的压电响应图像。7、辅助光学系统：>5M像素CCD，分辨率：<2um,计算机控制样品照明，软件可直接存储光学图像。8、软件需具备离线操作功能，即在未与AFM相连的个人电脑上可以不限次数地安装系统软件，进行数据、图像处理等功能操作。全部功能运行软件,终身免费升级。

1、智能扫描模式：要求系统能自动追踪样品表面特征，根据样品表面特征，自动设定扫描，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值；2、接触式模式（Contact AFM）；3、轻敲模式（Tapping Mode）；4、抬高模式（LiftMode）；5、扭矩共振模式（Torsion Resonance Mode）；6、峰值力轻敲模式（Peak Force Tapping）：要求采用力曲线的峰值力作反馈, 可精确控制针尖与样品之间的相互作用力小至几十pN, 减少针尖磨损，提高横向分辨率；7、相位成像；8、摩擦力显微镜；9、磁力显微镜 ；10、面内

表面形貌测试

1)收费标准中仅为机时费，我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算，至少收取一小时费用，其后以半小时为单位计价，未满半小时以半小时计价。3）按小时收费。4）需要制样的加收100制样费；探针等根据市场价格按实际消耗量据实结算。5）常规硅基板或玻璃基板的样品

校外：1200元/小时；校内：900元/小时；院内：800元/小时