"1、硬件指标：
*1.1、基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz, 且6MHz都可用于像素的自由选址。
1.2、含有主动抗尖峰脉冲电路，对应温度微小漂移
*1.3、需配备6个 16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变，可以控制步长低于纳米量级，最小步距增量不大于0.1nm。
*1.4、可设定写场范围不小于0.5um x 0.5um ~ 2mm x 2mm
*1.5、提供配有法拉第杯的通用样品台， 采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为20 x 20 mm。
*1.6、提供用于写场精细校准的CHESSY。
1.7、提供束闸及皮安表
1.8、高速图像采集和标记注册（400ns视频ADC）
1.9、消光器控制电路TTL 5V
1.11、可连接电缆到SEM或FIB和Raith PC

1、放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能；2、自动调整功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能；3、具有自动聚焦、自动消像散、自动对比度/亮度调节等功能；4、具有鼠标控制放大、聚集、消像散等功能，且放大倍数同步调整；5、具有样品台自动对中功能；6、具有突然断电、断水、真空状态不良保护措施

1、电子束曝光；2、形貌观察

1)收费标准中仅为机时费，我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算，至少收取一小时费用，其后以半小时为单位计价，未满半小时以半小时计价。3）按小时收费。4）光刻胶等根据市场价格按实际消耗量据实结算；其它样品:根据样品具体特性和要求面议。5）限定1寸*1寸范围内的硅基板

1、电子束曝光：（校外：2000元/小时；校内：1500元/小时；院内：1300元/小时）；2、形貌观察：（校外：800元/小时；校内：600元/小时；院内：550元/小时）