1. 手套箱箱体为气密性结构，隔绝箱体内外有害气氛并提供操作空间。箱体内外物料通过过渡舱传递。手套箱气密性为行业一级标准，箱体泄漏率小于0.05vol%/h；
2. 箱体内部有效尺寸不小于：长2000mm，深780mm，高900mm。为单面操作布局，箱体两端法兰式模块化设计。手套箱前方安装有PC材质面板，内贴耐腐蚀薄膜。前面板共安装有12个POM材质手套孔和丁基橡胶材质手套。箱体支架高度不低于1000mm，采用US 304不锈钢；
3. 标准T型小舱两个：直径150mm，长度600mm，采用US 304不锈钢，内有带导轨的滑盘。过渡舱极限真空度<3 Pa。与箱体采用法兰连接，合页卡扣式舱门，配有矩形截面密封圈；
4. 再生气体：氮气/氢气混合气或者氩气/氢气混合气，再生程序可根据再生气中的氢气浓度调整（<4% 或 >4%氢气浓度对应不同再生程序）；
5. 主控阀：MB EPV-40电磁气动阀，集成式一体化电磁阀座；
6. 配有抽速不低于112L/min的前级泵和抽速不低于260L/s的分子泵，极限真空度可达9×10-8Torr。

太阳能电池镀膜

样品测试、分析检测

服务时间安排：工作日上午9:00-11:30，下午15:00-17:30

蒸发Ag，自主上机机时费1100.0元/小时
蒸发Au，自主上机机时费2000.0元/小时
蒸发Au 60nm以上，材料费200.0元/10nm