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低压化学气相沉积系统

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  • 仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电路板制造工艺实验设备
    • 型号:LPCVD100-III
    • 厂商:无锡松煜科技有限公司
  • 所在地区:河南省郑州市中原区
  • 服务次数:0

服务信息

"一.核心技术指标:
系统:3管6英寸卧式系统;两管要求配置齐全;两管中其中一管后续可升级到石墨烯工艺;最上管需预留安装空间,方便以后升级;
1.恒温区长度:≥500 mm
2.控温精度:静态闭管≤±0.5 ℃;
3.自动控制温度及工艺过程,串级控温 24 小时±0.5 ℃
4.温度斜变能力:最大升温速率:15 ℃/min(室温~1000 ℃)
5.进料方式:悬臂桨
6.控制系统:采用进口的嵌入式控制系统
7.压力蝶阀配置:进口蝶阀
8.薄膜规:采用进口的薄膜规
9.设备顶部要有水冷散热器
10.净化台区域洁净度要求 100 级
11.气路系统:气路接口采用 VCR 连接, MFC和相应的阀门,保证气路高洁净度,高密封性,高安全性,工艺气体要求:高纯 N2、SiH4、NH3、SiH2Cl2、O2;
1)流量精度满足: ≤ ±1 % F.S
2)气密性满足:漏率≤1×10-9 pa.m3/s
"1、设定工艺温度和流量曲线功能。2、 温度和流量实时显示功能。3、各种报警显示功能。4、各种参数定时采样记录功能。采样周期可修改。5、温度曲线实时显示功能,温度曲线保存功能。
f) 对系统的开关量控制功能。
g) 各种参数在线查询、修改、设定。
h) 分级权限(多重密码)的管理功能。
i) PC设定工艺参数并对系统各状态进行监控记录,方便快捷。
j) PLC为主控单元,既解决了单片机控制抗干扰性差的问题,又解决了工控计算机死机的问题。
镀膜
1)收费标准中仅为机时费,我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算,至少收取一小时费用,其后以半小时为单位计价,未满半小时以半小时计价。3)按小时收费
校外:800元/小时;校内:600元/小时;院内:500元/小时

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服务质量:5
服务效率:5
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