测量范围：203mm*203mm
Chuck XY stage
Travel range：203mm * 203mm
Fine Travel range：12mm*12mm
Fine Travel resolution：<1um@250um/rev
Theta travel(standard)：360度
Theta travel (fine)：±6度

Chuck to platen
chuck to platen sepatation(quick lift): 9.375mm
chuck to platen sepatation(fine adjust): 38.1mm

Manual microscope stage
movement range: 50 x 50mm
resolution: 1° = 2.54u
Scope Z range: 25mm - 100mm

该探针台可以完成芯片在片DC、CV-IV、大功率测试分析。

芯片在片测试

1. 请提前线上预约。
2. 请自行确定待测芯片与探针台是否适配。
3. 特殊测试需求需自备探针。

1000元/小时