I-V测试：
能够实现四探针测试，配备4个或4个以上的高分辨率SMU单元。
电流测试范围：0.1fA～1A；
1.电压测试范围：0.1μV～210V；
2.等效阻抗大于10^16Ω；
3.最大电流不小于1A，最大功率不小于20W。
C-V测量：
1.C-V测量单元可以进行1KHz～10MHz的变频C-V测试；
2.同时满足电容/电压测量，电容/频率测量；
3.可以进行电容、电压、频率的连续扫描，扫描电压范围0～±30V（差分模式下不小于±60V）。
脉冲I-V部分：
1.系统脉冲发生器频率范围50MHz～1Hz；
2.系统最小脉冲发生器宽度不小于11ns；
最大脉冲电压不小于80Vp-p，-40V～40V；
3.最大电流不小于800mA；电流量程可调范围不少于：800mA，200mA，10mA，1mA,100μA，10μA，1μA,100nA；

1.I-V测试，2. C-V测量,3.脉冲I-V

样品测试

无挥发固态样本,需要提前将样品进行处理。

1小时1000元