扫描装置：3D相扫描干涉，不接触3D扫描测量，带防抖装置
物镜： 10X、20X
Z 轴驱动 100mm 行程， 0.1μ m 分辨率*
电控平台移动范围：XY: 平移 150mm; 倾斜± 4°
纵向扫描范围：大于150μm，
纵向分辨率 ＜0.1nm， 横向分辨率＜0.1nm *
扫描速度: 大于30μm/s
RMS 重复性 ＜0.01 nm， RMSσ
台阶测量 准确度 ≤ 0.75%
重复性≤ 0.1% @ 1σ*
表面形貌重复性 ＜0.2nm*
最大尺寸：φ200mm及 更大的样品可以放置*
最大倾斜容忍度 75°

1.可以测量材料表面的线、面粗糙度数值。
2.提供多樣的测量参数,包含2D与3D的表面的纹理，形貌。

1.对样品表面线、粗糙度进行测量。测量精度达到0.1nm。
2.可以对样品表面纹理、形貌、台阶做2D/3D成像处理。
3.对表面平整度进行测量以及峰值显示、高度差值测量。

1. 允许外单位和个人共享使用，外单位或个人，需在使用仪器设备前，按照上述联系方式进行联系，提出预约申请，确定使用时间与要求，确定测量物品的尺寸、规格、数量以及检测要求，以便提前做好准备，保证按时使用。 2.用户应遵守仪器设备的操作规程和实验室有关规定，服从操作人员的管理和指导，注意维护实验室的环境卫生与秩序。设备仪器零部件昂贵，不得擅自操作。 3.按规定缴纳大型仪器设备共享使用费，由本单位财务部门负责收取并开具统一的收费凭证。

100元/样