服务信息
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1．电子枪：肖特基场发射电子枪；2．最佳空间分辨率：10keV/5nA时优于95nm；3. 10keV/10nA(CRR=0.5%)时Cu样品的LMM峰(918eV)，强度不低于600kcps，与955eV处背景相比，10keV时信噪比好于750: 1；4.系统配有满足绝缘样品AES分析时荷电中和需要的离子束中和源。
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俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术，材料表面原子受激发射出具有元素特征的俄歇电子。其原理为：入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可以传递给核外另一电子，使其激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。
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俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术，材料表面原子受激发射出具有元素特征的俄歇电子。其原理为：入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可以传递给核外另一电子，使其激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。
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俄歇电子能谱(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术，材料表面原子受激发射出具有元素特征的俄歇电子。其原理为：入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可以传递给核外另一电子，使其激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。
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