服务信息
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1. 测量光谱范围:240-2500 nm
2. 可变入射角范围:计算机自动控制入射角大小,范围:20-90度。
3. 系统准确性:将系统置于“对打”(90度入射角)方式,并确认光束没有被样品台挡住,设定步长,使用AutoRetarder,在100次平均高精度模式下获得数据。其结果将是: :45°±0.03°; :0°± 0.05° ;(240nm~2200nm)。
4. 系统重复性:在25nm SiO2/Si片上测试(入射角为65° 可见/近红外区)SiO2厚度标准偏差<=0.005nm(30次测量的标准偏差)。
5. 光学聚焦件:可将光斑缩小至200um。 -
通常用来测量及研究薄膜的紫外光学特性,如光刻胶等
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通常用来测量及研究薄膜的紫外光学特性,如光刻胶等
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薄膜样品
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1. 校内用户:样品测试费:1元/个 样品处理费:150元/个
2. 校外用户:校内用户价格的二倍
联系方式
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