1.双LED光源（白光和绿光），工作模式分为VSI和PSI测试模式。垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，无需缝合拼接。垂直分辨率：<0.1nm Ra; RMS重现性：0.01nm；垂直扫描速度：优于47微米/秒；横向分辨率：最小0.08微米。
2.样品台倾斜角度调制范围：不小于±6°；电动闭环控制样品台，移动范围150mm（xy轴）/100mm（z轴）；视场范围：不小于8.24mm，更大面积可用缝合功能。
3.台阶测试精度：0.75%；反射率范围：1%至100%；CCD分辨率：1280*960像素。
4.电动目镜自动转换器；目镜：0.55倍，1倍；白光干涉物镜:5倍，20倍，50倍。

1.双LED光源（白光和绿光），工作模式分为VSI和PSI测试模式。垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环扫描，无需缝合拼接。垂直分辨率：<0.1nm Ra; RMS重现性：0.01nm；垂直扫描速度：优于47微米/秒；横向分辨率：最小0.08微米。
2.样品台倾斜角度调制范围：不小于±6°；电动闭环控制样品台，移动范围150mm（xy轴）/100mm（z轴）；视场范围：不小于8.24mm，更大面积可用缝合功能。

三位形貌仪主要用于薄膜材料以及摩擦副的表面粗糙度、磨损体积和表面轮廓测量，完成零部件表面轮廓、尺寸分析，曲率，孔隙率，粗糙度，驼峰度等信息分析

表面反光率大于1%的固态表面，台阶高度小于10mm

校内收费：100元/小时；校外：300元/小时