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反应离子刻蚀系统
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仪器分类：核仪器 -> 离子束分析仪器 -> 其他
型号：Phanpom LT
厂商：Trion/Trion
所在地区：河南省开封市龙亭区
服务次数：0
普通预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
最大基片尺寸：300mm 2.最大功率：ICP-1000W，RIE-600W 3.气体种类：6种
主要功能
可用于清洗基底表面，干法刻蚀制备模板，去除残胶以及改变基底表面粗糙度和亲疏水性
服务内容
样品刻蚀
用户须知
1、试样按国家标准进行制样3、试样测试前按国家标准进行调试
参考收费标准
150元/小时
联系方式
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服务次数：3
历史访问：360
服务态度：
5
分
服务质量：
5
分
服务效率：
5
分
综合评价：
5
分
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