脉冲发生器：电压范围：±100 V (±0.3m V ) 脉冲宽度：1 µs - 1000 s；电容测量：高频信号：1 MHz 电容补偿范围 1pF- 4200 pF灵敏度: 0.01 fF；温度范围：20K - 450K多种测试功能：测试功能：电容模式、定电容模式、电流模式、（双关联模式）、Zerbst模式、光激发模式、FET分析、MOS分析、等温瞬态谱、Trap profiling、俘获截面测量、I/V,I/V(T) 查理森Plot分析、C/V, C/V(T) 、TSC/TSCAP 、光子诱导瞬态谱、DLOS

检测半导体材料中微量杂质、缺陷的深能级及界面态

薄膜深能级测试，样品前处理

最多提前预约 7 天,最少提前 10 分钟预约。电极需要稍稍做大一点

常温测试：40元/样品；变温测试：100元/小时