服务信息
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1. 镀膜腔体为D型304不锈钢腔体；尺寸 360mm宽 x 360mm深 x 610mm 高；前开门设计；配有方形观察窗。
2. 真空系统极限压强可达≤5x10-7Torr；
3. 具有3台Torus溅射靶枪，靶材尺寸为3英寸；
4. 样品台基片背部石英灯烘烤加热，最高温度达350℃，PID控温，控温精度+/-0.1℃；
5. 4英寸基片成膜均匀性优于±5% -
金属薄膜和半导体薄膜的制备
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薄膜制备设备
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如非现有靶材，无法提供镀膜服务；请提前一周咨询预约
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150元/小时
联系方式
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