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原子层沉积系统
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仪器分类:分析仪器 -> 样品前处理及制备仪器 -> 微波消解装置
型号:PICOSUN R-150
厂商:Picosun
所在地区:河南省开封市龙亭区
服务次数:0
普通预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
反应腔为AISI 316不锈钢,并经过特殊钝化处理,确保能够沉积Al2O3、ZnO、ZnS、CdS等氧化物、硫化物和金属。配备4路独立的前躯体源管路;真空泵抽速为80m3/h,真空泵极限真空度为0.1Pa。
主要功能
4寸以内基片
服务内容
4寸以内基片
用户须知
只能在基片上沉积薄膜
参考收费标准
200元/小时
联系方式
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河南大学
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服务次数:3
历史访问:368
服务态度:
5
分
服务质量:
5
分
服务效率:
5
分
综合评价:
5
分
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