1 电子光学
1.1 高性能电子光学镜筒，双阳极热发射
1.2 固定式物镜光阑
1.3 45度锥度物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统
1.4 放大倍数: 6x – 1,000,000x (误差 ≤ 3%)
2 分辨率
2.1 高真空模式: 30kV 时 3.0 nm；3kV 时 8.0 nm
2.2 低真空模式: 30kV 时 3.0 nm；3kV 时 10.0 nm
2.3超低真空模式: 30kV 时 3.0nm
2.4 背散射电子 (BSE) 成像: 30kV 时 4.0 nm

FEI Quanta 650拥有高真空、低真空、环境扫描等多种模式可以选择，针对不同导电程度、不同含水量的样品进行有效的观察。

扫描形貌观察，扫描+能谱

样品应无磁性、不易挥发、非固体粉尘。

300元/点，喷金100-150元/样，能谱150元/样