XY扫描器90 μm×90 μm；Z轴扫描器15 μm，光电探测器采集带宽7 MHz，光学系统噪音(探针未接触样品表面) <10 pm (Adev，0.1 Hz到1 KHz带宽)；导电AFM (ORCA)模块内置增益5×108，实现1 pA至20 nA的测试；PHEAT-PEEK加热器，CTRL-HTR-INFIN环境控制器，在大气环境下至300 ℃的温控，精度不低于0.2 ℃；水平方向磁场大于+/-7,000 G，水平和垂直加磁场。PFM高压附件，针尖和样品间的电压+/-150 V。

准确地观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌；对样品表面物理化学特性进行研究，能测试多种材料的多种物性.包括表面组分区别、温度、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、电流、扫描隧道显微镜和其他表面力以及电化学相互作用力的测量。

薄膜三维形貌、样品表面物理化学特性进行研究。

最多提前预约 7 天,最少提前 10 分钟预约

大气下普通形貌测试50元/样，探针被样品污染另计探针耗材50元/根；PFM，C-AFM,MFM,EFM,KPFM,测试及液体下形貌测试150元/小时，探针被样品污染100元/根