原子层沉积设备
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- 型号：ANGSTROM-DEPIII
- 厂商：美国埃米薄膜技术有限公司/埃米
- 所在地区：河南省开封市龙亭区
- 服务次数：0
服务信息
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前驱体源：4路源，每路源采用单独的、质量可靠的高速脉冲阀门控制；
有2个加热套，可灵活的给任何两路前驱体加热，可加热至150℃。.
真空系统：配备国际知名品牌耐腐蚀真空油泵，真空泵抽速不小于1.5L/s，真空泵极限真空度为< 5mTorr。 -
原子层沉积设备可用于对现有微纳米材料进行表面包覆改性，也适应于开发新型功能纳米材料和薄膜材料，制备的薄膜具有非常好的厚度可控性和均匀性、保型性、无针孔度以及致密性，可广泛应用于新型能源、储能和催化等研究。
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薄层沉积
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1、自备靶源等实验耗材；2、预约前请先电话联系；
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200元/小时
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