1.分辨率：二次电子图像：≤0.8nm (15kV), ≤1.0nm (1kV)；分析模式分辨率：≤3.0nm (15kV, 5nA, WD=8mm)
2.背散射电子像：≤1.6nm (15kV)
3.加速电压: 0.1 - 30KV 连续可调
4.束流范围：1pA～200nA连续可调；
5.放大倍率: 25X – 1,000,000X ；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能。

该仪器利用电子成像原理，可同时得到二次电子像、被散射电子像及其混合信号图像，可实现生物组织、细胞或生物大分子等样品材料表面的微观表面形貌及截面样品断面等结构信息的高分辨观察。 配备Pt靶自动离子溅射仪及X射线能谱仪，可自动标识谱峰，进行谱重构，对重叠峰进行峰剥离, 提供和峰定量修正功能等谱定性分析；采用XPP修正技术,可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的谱定量分析。

生物组织、细胞或生物大分子等样品材料表面的微观表面形貌及截面样品断面等结构信息的高分辨观察。

样品干燥，提前预约，无磁性

实际收费按200元/小时，不足0.5小时按0.5小时收费，能谱按机时收费