一、分析器
180°双聚焦半球分析器
高效电子传输透镜系统
128通道检测器
二、X射线源
Al Kα微聚焦单色源
束斑连续可调（50-400 μm，步长为5 μm）
低功率下实现高性能数据采集（72 W）
三、电荷补偿
双束中和源
极低能量同轴电子和Ar+离子
四、EX06离子枪
能量范围从200 eV至4 keV
五、样品处理
四轴样品台
最大分析面积为60 * 60 mm
最大样品厚度为20 mm
六、真空系统
2套抽速260 l/s涡轮分子泵
自动开启，三灯丝Ti升华泵
七、操作软件
Avantage软件可用于离线数据处理
八、可选组件
转角样品台用于角分辨XPS
真空转递样品台用于传递空气敏感样品
偏压样品台用于测量材料功函数
进样室接口可以连接手套箱

X射线光电子能谱技术（X-ray photoelectron spectroscopy，简称XPS）是一种表面分析方法， 使用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来，被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量和数量，从而获得待测物组成。XPS主要应用是测定电子的结合能来鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在光电子来自表面10nm以内，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特点，广泛应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。

"XPS：固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样讯息深度为～10nm以内. 包括:
1. 表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯。
2. 维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析（角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式）
3. 线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布。
4. 成像功能。
5. 可进行样品的原位处理 AES：1.可

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