电子光学:
二次电子分辨率：0.9 nm @15 kV 1.4 nm @ 1 kV
放大倍数： 2 × ~ 2,000,000 ×
着陆电压：50V~30KV
探针电流： ~400nA
聚焦离子束：
分辨率< 2.5 nm @ 30 kV
放大倍数：150 ×~1,000,000 ×
离子源：单同位素Ga离子源
探针电流：1 pA - 100 nA

用于金属、无机非金属、陶瓷、高分子、生物、碳材料、矿物等各类样品的微观形貌观察和成分分析，可以进行微纳米尺度加工（切割、焊接、沉积等）。

对各类样品的微观形貌观察，可以进行微纳米尺度加工（切割、焊接、沉积等）。

粉末、块体均可。接受弱磁性块体样品。干燥，热稳定性良好，无放射性。

SEM形貌：160元/样（图片6张内）
SEM截面形貌：200元/样（图片6张内）
FIB：1000元/h