服务信息
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精度0.1nm，放大总倍率8600倍、半导体激光光源波长405nm
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OLS5100具备一键自动校正、一键式轮廓测量、自动提取特征点等功能，主机本体具有阻尼防震减振功能。能进行综合分析并形成分析报告，可分析的信息包括但不限于：几何尺寸、颗粒直径、2D/3D形貌图、表面粗糙度图等。
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奥林巴斯共聚焦显微镜能快速高效、高逼真度地表征亚微米级三维形貌和几何特征（值）（台阶、线宽、体积、距离等），精确测量深度大于100微米的微米级尺度凹坑结构的表面粗糙度(Ra，Rz与Ry)，精度0.1nm，并对相关测量数据分析处理和图形化。
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该设备的预约使用，请提前联系，确保设备是否有空闲。
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200元/小时
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