分辨率：1.0nm（15KV） 1.3nm（1KV，减速模式）
加速电压：0.5-30KV，0.1KV/步
放大倍率：*20to*800000
电子枪：冷场发射电子枪
最大电子束流度：不低于2nA
透镜系统：3级电磁式
透镜工作多种模式：高分辨、大束流强度、磁性样品工作模式、样品低损伤模式
物镜光阑：4孔可调式（直径30、50、50、100μm）内置加热自洁装置
最大样品尺寸：100mm
探测器：二次电子探测器：高位和低位，高位探头可选择接受二次电子像或背散射像
图像存储：640*480,1280*960,2560*1920像素
图像文件格式：BMP,JPEG,TIFF
数据记录：胶卷好，加速电压，微米标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离
电子图像移动：±12μm（WD=8mm）
真空系统：真空度：10-7Pa（电子枪）；10-4Pa（样品室）

对材料微区成分元素种类与含量分析

微细结构材料的形貌及尺寸观察、组成的定性测量

待测样品必须保持干燥，无挥发性，非强磁性，样品尺寸不超过4英寸，高度不得超过10mm

按照样品个数收费标准：形貌分析150元/个，能谱分析100元/个，喷金50元/个，喷碳40元/个；
按照时间收费标准：300元/小时