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反应式等离子蚀刻机

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  • 仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
    • 型号:RIE-150
    • 厂商:北京芯微诺达科技有限公司
  • 所在地区:河南省郑州市金水区
  • 服务次数:0

服务信息

1.基片尺寸:6英寸及以下;
2.射频电源:等离子体源1000W,13.56 MHz;偏置源300W,13.56 MHz.
1.控压阀门:电动预设位置;
2.温度控制:循环水冷控制载片台温度;
3.工艺气体:7路气体;
4.工艺性能:金属氧化物材料、三五族材料及硅材料蚀刻
晶圆蚀刻
预约请提前联系。
院内 600元/小时;校内800元/小时;校外1000元/小时。不足一小时按一小时计算。

联系方式

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服务次数:38
历史访问:753
服务态度:5
服务质量:5
服务效率:5
综合评价:5

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