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磁控溅射镀膜机
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仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
型号：Sputter-150
厂商：北京芯微诺达科技有限公司
所在地区：河南省郑州市金水区
服务次数：0
普通预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
1.基片尺寸：6英寸圆片及以下；
2.极限真空：7.6*10-5 帕斯卡；
3.三个靶枪；
4.二路工艺气体
主要功能
晶圆表面镀膜，可依程序自动调节进气种类，流速和温度等参数。
服务内容
晶圆镀膜
用户须知
预约请提前联系。
参考收费标准
院内：400元/小时；校内：500元/小时；校外700元/小时。不足一小时按一小时收费。
联系方式
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郑州大学
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服务次数：37
历史访问：571
服务态度：
5
分
服务质量：
5
分
服务效率：
5
分
综合评价：
5
分
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