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磁控溅射镀膜机

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  • 仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
    • 型号:Sputter-150
    • 厂商:北京芯微诺达科技有限公司
  • 所在地区:河南省郑州市金水区
  • 服务次数:0

服务信息

1.基片尺寸:6英寸圆片及以下;
2.极限真空:7.6*10-5 帕斯卡;
3.三个靶枪;
4.二路工艺气体
晶圆表面镀膜,可依程序自动调节进气种类,流速和温度等参数。
晶圆镀膜
预约请提前联系。
院内:400元/小时;校内:500元/小时;校外700元/小时。不足一小时按一小时收费。

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服务次数:38
历史访问:753
服务态度:5
服务质量:5
服务效率:5
综合评价:5

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