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磁控溅射镀膜机
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仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
型号:Sputter-150
厂商:北京芯微诺达科技有限公司
所在地区:河南省郑州市金水区
服务次数:0
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创新券预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
1.基片尺寸:6英寸圆片及以下;
2.极限真空:7.6*10-5 帕斯卡;
3.三个靶枪;
4.二路工艺气体
主要功能
晶圆表面镀膜,可依程序自动调节进气种类,流速和温度等参数。
服务内容
晶圆镀膜
用户须知
预约请提前联系。
参考收费标准
院内:400元/小时;校内:500元/小时;校外700元/小时。不足一小时按一小时收费。
联系方式
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郑州大学
更多仪器>
服务次数:38
历史访问:753
服务态度:
5
分
服务质量:
5
分
服务效率:
5
分
综合评价:
5
分
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