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离子减薄仪

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  • 仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电子产品通用工艺实验设备
    • 型号:Gatan 695
    • 厂商:Gatan公司
  • 所在地区:河南省洛阳市涧西区
  • 服务次数:0

服务信息

1.离子枪:带袖珍稀土磁铁的两个离子枪。2. 减薄入射角:-10o—+10o,每个枪可独立调整。3. 离子束能量:0.1keV- 8keV。4. 束斑尺寸:250μm FWHM(5keV)—800μm FWHM(5keV)。5. 离子束流密度:10mA/cm2。6. 离子束调整:通过荧光屏精确调整。7. 样品尺寸:3mm或2.3mm。8. 抽气系统:涡轮分子泵和无油机械泵两级系统。9.真空度:5 × 10-6Torr 基本压强;工作时8× 10-5Torr。
用高能离子束轰击样品表面,从而使样品逐渐减薄,为透射电镜制样。
用高能离子束轰击样品表面,从而使样品逐渐减薄,为透射电镜制样。
按照操作规程进行设备操作。
对外共享300元/小时,校内120元/小时,院内120元/小时

联系方式

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服务次数:5
历史访问:384
服务态度:5
服务质量:5
服务效率:5
综合评价:5

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