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仪器资源
无掩模板紫外光刻机
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仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
型号:ATS-07-UV litho
厂商:托托科技(苏州)有限公司
所在地区:河南省郑州市二七区
服务次数:0
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创新券预约
仪器咨询
服务信息
技术指标
分辨率:1920*1080
光刻精度:2 μm
支持基片尺寸:3mm*3mm-150mm*150mm
主要功能
扫描曝光芯片,紫外激光把图形写到光胶衬底上。
服务内容
针对特定形状的器件制作专门的掩模
用户须知
提前一周预约,即时记录使用时遇到的各种问题。
参考收费标准
200元/小时
联系方式
登录用户才能看到联络人信息和联络方式,请
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郑州大学
更多仪器>
服务次数:38
历史访问:753
服务态度:
5
分
服务质量:
5
分
服务效率:
5
分
综合评价:
5
分
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