1、真空泵，抽速≥12 m3/h
2、 GE氧分析仪（测量范围：0-1000 ppm，精度0.2 ppm）和Michell水分析仪。
3、水氧指标≤1 ppm。
4、泄漏率<0.001Vol%/h。
5、复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计；
极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)
抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min；
设备升压率：≤0.8Pa/h；
6、设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；

蒸发镀膜与手套箱环境无缝对接融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，稳定性更高。广泛应用于有机、无机钙钛矿太阳能电池、锂电池及QLED、OLED薄膜等研究系统；纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。

高真空金属蒸发镀膜机是纳米薄膜沉积系统与手套箱系统的有机结合，该设备可在惰性气体保护的环境下完成装片、装料及换料取片等工作，并且由于采用惰性气体的工作环境及无油真空系统使镀膜机可更快的到达高真空，获得洁净的真空环境；本设备可配置2~6组蒸发源，组合配置灵活，具备单层蒸镀、多源共蒸、分层镀膜等功能。

按照河南工程学院大型科研设施与仪器开放共享管理办法（试行）执行。

按照河南工程学院大型科研设施与仪器开放共享管理办法（试行）、河南工程学院分析测试中心仪器设备使用收费管理细则（试行）执行。院部收费细则参考我校分析测试中心同类型仪器设备标准执行。