1.1 XY方向单次全自动扫描范围：≥50*50mm，一次扫描完成，无需进行图像拼接。
★1.2 XY方向最小扫描步长：≤0.1μm，扫描速度：≥20mm/s
1.4载重：≥6.8Kg
1.5 Z方向允许最大样品高度：≥100mm
2、大范围光学测量探头技术参数：
2.1 Z方向测量范围：≥3mm，Z方向测量分辨率：≤50nm
★2.2 横向光学分辨率：≤8μm
2.3工作距离：≥16.4mm，最大测量坡度：≥85°
3、高精度光学测量探头技术参数：
★3.1 Z方向测量范围：≥300μm，Z方向测量分辨率：≤8nm
★3.2 横向光学分辨率：≤3μm，
3.3工作距离：≥10mm，最大测量坡度：≥85°
4、三维数据分析处理软件：
4.1 自动二维、三维调平功能，能创建任意区域的2D曲线图、2D等高线分布图等，能创建任意区域的3D图像
4.2能计算一维线粗糙度参数（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku），二维面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku），长度，宽度，深度，面积，体积等，能够得到薄膜厚度测量

该仪器主要能够用来测试机械零部件表面质量，表面润滑研究，材料摩擦学学检测，获取样品表面的二维、三维表面形貌、一维线粗糙度、二维面粗糙度，关键尺寸，关键部位的面积、体积、功率谱密度等表面参数。

机械零部件面的二维、三维表面形貌、一维线粗糙度、二维面粗糙度，关键尺寸，关键部位的面积、体积、功率谱密度等表面参数测量

严格按照操作规程，注意测试安全

测量：1000-1500元/次