电子束镀膜系统
收藏- 仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
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- 型号:PD-500
- 厂商:Electron beam coating system
- 所在地区:河南省郑州市高新区
- 服务次数:0
服务信息
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1、薄膜厚度片内、片间均匀性及重复性优于±5%;2、配置有基板加热系统,使工艺腔室温度可达到120℃以上,温度偏差±10℃以内,最高加热温度可达350℃。3、镀锅旋转速度可控,旋转速率:5-12转/分钟;4、工艺腔室极限真空≤3.010-5Pa; 压力上升:≤5.010-6Pa·m³/秒;
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1、连锁安全功能(门处于开启状态下,电子束及加热等无法进行工作,确保操作人员安全);2、电子束蒸发源电源过载保护功能及出错警报提示功能;3、UPS电源数据保护功能(可在电脑电源切断时提供暂时的电力供应,防止数据丢失);4、可拆卸保护功能(主要独立保护板配置有安全传感器,当设备工作过程中取下主要防护板时机器停止镀膜)
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镀膜
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1)收费标准中仅为机时费,我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算,至少收取一小时费用,其后以半小时为单位计价,未满半小时以半小时计价。3)按小时收费。4)镀膜靶材及坩锅耗材等根据市场价格按实际消耗量据实结算。
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校外:800元/小时;校内:600元/小时;院内:500元/小时
联系方式
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