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等离子体增强沉积系统

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  • 仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
    • 型号:PECVD-150
    • 厂商:北京中科泰龙电子技术有限公司
  • 所在地区:河南省郑州市高新区
  • 服务次数:0

服务信息

真空度:1X10-3pa以下
温度:800℃以下
金属及氧化物镀膜
1.由计算机进行工艺参数设定,具有专用控制软件,软件具有工艺参数设置,硬件自我故障诊断与检测功能;
2.镀膜厚度在系统中自动设定条件,无需手调;
等离子体方法镀膜
1)收费标准中仅为机时费,我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算,至少收取一片费用
6英寸晶圆:院内800元/片;校内1000元/片;校外1200元/片。

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服务次数:38
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服务态度:5
服务质量:5
服务效率:5
综合评价:5

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