扫描器须为三轴分离平板闭环扫描器；非线性≤0.03%；XY扫描器范围≥100μm×100μm；Z扫描器范围≥15μm；三个扫描轴上都带有独立的闭环传感器，XY轴闭环传感器噪音小于90pm，Z轴闭环噪音小于30pm RMS；扫描方式：全针尖扫描（XYZ三个方向都采用针尖扫描），即样品保持不动，不接受其它针尖运动方式。

能对柔性电子材料在高温下的相变过程进行动态成像, 能对柔性电子材料的导电性能进行测量,能对柔性电子材料的模量、粘附力等力学参数进行定量成像，能对柔性电子材料在拉伸状态下进行形态、力学以及电学测量。

可以测试薄膜、粉末等非磁性材料在不同温度以及不同载荷下材料在分子结构上的变化、力学属性的变化以及导电特性的变化。此外，可以进行液下测试研究生物材料或者生物细胞等的表面力学性能和形貌结构等方面的性能。

1） 试样表面需要洁净平整，不能含有较大杂质颗粒； （2） 试样无毒无害，且不能挥发有毒性气体； （3） 不接受除硅片以外其他基底的样品送测； （4） 不接受液体、粉末、强磁性样品送测； （5） 不接受易挥发、腐蚀性和有毒样品送测； （6） 请自备样品测试所需的相关耗材（探针、保护气体等，具体请咨询仪器厂商，不接受耗材方面的咨询）； （7） 由于需要摸索合适的实验参数，单个样品预约测试时间至少2个小时； （8） 本仪器仅做相关测试，不负责后续分析工作。

院内50元/小时，校内200元/小时，校外1000元/小时