服务信息
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1．显微基本指标
1内部集成光学显微镜，光学放大20-135倍，且有明场及暗场区分
* 电子放大最高350,000倍
* 电子光学分辨率优于6nm@15kV
2．元素探测基本指标 元素探测范围：B(5)-Am(95) -
样品表面形貌快速检测，样品可以EDS能谱分析。设备操作简单，成像快速，放置环境要求低，可以点扫，面扫测试金属、半导体、含磁等材料的表面形貌以及能谱分析。
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样品表面形貌快速检测，样品可以EDS能谱分析。设备操作简单，成像快速，放置环境要求低，可以点扫，面扫测试金属、半导体、含磁等材料的表面形貌以及能谱分析。
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固体或薄膜样品
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内部：80元/样；外部：150元/样
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