"1、主机：稳频精度：0.05ppm；动态采集频率：50 kHz；预热时间：≤ 6分钟；工作温度范围：(0~40)℃；存储温度范围：(-20~70)℃；环境湿度：(0~95)%RH。
2、线性测量：测量距离：(0~80)m ；测量精度：0.5ppm (0~40)℃；测量分辨率：1nm；测量最大速度：4m/s.
3、角度测量：轴向量程：(0~15)m；测量范围：±10°；测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″；测量分辨力：0.1″。
4、平面度测量：轴向量程：(0~15)m；测量范围：±1.5mm；测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm ；基板尺寸：180mm可调，360mm可调；测量分辨力：0.1μm。
"

"1、机械零件几何精度测量；
2、精密运动设备及导轨测量与校准；
3、振动分析
4、驱动系统的响应特性分析
5、丝杆导轨动态特性分析
"

"1、线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
2、数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
3、根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
"

"1、设备使用人员必须经过专门培训，对仪器的工作原理及使用方法熟悉方可使用2、设备使用人必须严格遵守仪器操作规程,爱护仪器设备。3.设备使用人不得随便拆卸仪器设备；
4、设备使用人应认真填写使用记录,注明使用时间；
5、外来人员使用仪器设备,必须由专职人员操作；"

校内：200 元/小时；校外：400元/小时；不足 1 小时按 1 小时计算。