电子光学系统：*1分辨率：二次电子分辨率 ≥0.7nm@15kV，0.8nm@1kV；2 总加速电压：0.1~30kV，其中加速电压:0.5~30kV，着陆电压:0.1~2 kV；3 放大倍数：最小≤20倍；最大≥100万倍（底片模式，非显示器倍率）；*4 电子枪：冷场发射电子枪，亮度要求108-9A/cm2/sr，配有束流优化功能；*5 电子枪寿命：单支电子枪可保证≥5年以上稳定使用，电子枪同时具有内部+外部烘烤功能，保证意外停电直接启动即可；*6 电子枪特征：亮度 ≥108-9/cm2/sr，能量色散范围低于0.2~0.3eV，保证极高衬度分辨；最大发射束流不大于20nA；*7电子源：束流连续可调，无电子束损伤，电子源直径≤5nm，保证场发射的系统工作，保证低电压工作下的高分辨。8 对中：具有自动对中功能；9 聚焦：自动聚焦，带有聚焦调节；10 像散：自动消像散，带有控制调节；*11 透镜：三级电磁透镜系统，保证高分辨率，保证低电压优异成像；*12 物镜光阑：可内外加热自清洁式，四孔可移动物镜光阑；13 工作距离：最小≤1.5mm，最大≥30mm；14 电镜具有直接观察不导电样品的

扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

进行材料微观放大成像

需提供已处理好样品，所有耗材提供有偿服务。

200元/小时